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高溫四探針測試儀的測量原理及其優(yōu)勢簡析

更新時(shí)間:2021-04-25      點(diǎn)擊次數(shù):4004
   高溫四探針測試儀采用四探針雙電測量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能。
  高溫四探針測試儀的測量原理
  測量電阻率的方法很多,如三探針法、電容-電壓法、擴(kuò)展電阻法等,四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)
  法,儀器采用經(jīng)典直排四探針原理,同時(shí)采用了雙電測組合四探針法。
  經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率,要求使用等間距的探針,如果針間距離不等或探針有游移,就會造成實(shí)驗(yàn)差。當(dāng)被測片較小或在大片邊緣附近測量時(shí),要求計(jì)入電場畸變的影響進(jìn)行邊界修正。
  采用雙電測組合四探針的出現(xiàn),為提高薄膜電阻和體電阻率測量準(zhǔn)確度創(chuàng)造了有利條件。
  高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法的優(yōu)勢
  采用雙電測組合四探針法進(jìn)行測試,測試結(jié)果與探針間距無關(guān),能夠消除間距不等及針尖機(jī)械游移變化的影響,因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭。
  采用雙電測組合四探針法具有自動(dòng)修正邊界效應(yīng)的功能,對小尺寸被側(cè)片或探針在較大樣品邊緣附近時(shí),不需要對樣品做幾何測量,也不需要尋找修正因子。
  采用雙電測組合四探針法,不移動(dòng)四探針針頭,同時(shí)使用三種模式測量,既可計(jì)算得到測試部位的電阻均勻性。
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