技術(shù)參數(shù)

●測量溫度：室溫---600°C ;

●控溫精度：±1℃ ，

●顯示精度：±0.1℃；

●升溫斜率：1-5°C/min；

●測量精度：0.05%；

●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;

●電導率：10-5 ～105 s/cm

●方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□；

●電阻：10-5 ～105 Ω；

●探針間距：2±0.01mm；

●探針壓力：0~2kg可調(diào)；

●針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

●真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s ;

●樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm；

●設備尺寸：680mmX450mmX400mm